[发明专利]外观检查装置

摘要

本发明提供一种外观检查装置，其正确且高速地算出太阳电晶片的三维形状。第一及第二形状算出部(24、34)根据通过拍摄部(20)以规定的帧频连续地拍摄到的多幅的光切断线图像的图像数据而算出晶片(50)的表面的三维形状数据。在此，第一形状算出部(24)在相机(21～23)对当前帧的光切断线图像进行拍摄的期间，在对之前一帧进行搜索处理，同时对之前第二帧的光切断线图像进行重心算出处理。

主权项

一种外观检查装置，其检查太阳电池晶片的外观，其中，具备：输送部，其沿着在所述太阳电池晶片上形成的切割痕的长度方向而以一定速度输送所述太阳电池晶片；照射部，其对由所述输送部输送的太阳电池晶片沿与输送方向交叉的方向照射光切断线；拍摄机构，其以一定周期连续地拍摄光切断线图像，该光切断线图像包括由所述照射部照射的光切断线；形状算出机构，其根据通过所述拍摄机构拍摄到的多幅光切断线图像的图像数据，算出所述太阳电池晶片的三维形状数据，所述形状算出机构与由所述拍摄机构进行的所述光切断线图像的连续拍摄处理并行地执行所述太阳电池晶片的三维形状数据的算出处理。