[发明专利]具有对点、测试双探测器的红外干涉检测装置

摘要

本发明公开了一种用于检测红外透镜非球面面形和透射波像差质量的红外干涉检测装置，采用两个红外焦平面阵列作为红外探测器，提供了对点、测试双探测成像光路；采用五维调整架夹持被测件，五维调整架固定在配备有精密测长装置的导轨的滑块上；实际干涉检测时通过观察对点、测试图像，配合精密测长装置，实时监测被测件的三维空间位置和倾斜、俯仰二维角度，快速便捷地完成标准镜和被测件的装夹调整，解决了红外光不可见性带来的检测过程中装夹调整的困难。

主权项

一种具有对点、测试双探测器的红外干涉检测装置，其特征在于包括CO2激光器[1]、半导体激光器[2]、第一、二反射镜[3、4]、扩束镜[5]、小分光镜[6]、大分光镜[7]、离轴抛物面反射镜[8]、小孔光阑[9]、测试成像透镜[10]、测试红外探测器[11]、第一折转反射镜[12]、毛玻璃屏[13]、第二折转反射镜[14]、对点成像透镜[15]、对点红外探测器[16]、二维调整架 [17]、五维调整架 [18]和配备精密测长装置的导轨[19]，其中小分光镜[6]、大分光镜[7]、小孔光阑[9]、测试成像透镜[10]和测试红外探测器[11]构成测试成像光路，大分光镜[7]、折转反射镜[12]、毛玻璃屏[13]、折转反射镜[14]、对点成像透镜[15]和对点红外探测器[16]构成对点成像光路，即由CO2激光器 [1]发出的红外激光依次经过第一、二反射镜[3、4]入射至扩束镜[5]，扩束镜[5]将入射的小口径平行光会聚，光束经过会聚焦点以后变为发散的球面波，球面波依次经过小分光镜[6]和大分光镜[7]反射至离轴抛物面反射镜[8]，该离轴抛物面反射镜[8]的焦点与扩束镜[5]的焦点重合，发散球面波经离轴抛物面反射镜[8]反射后变成准直的平行光束，该平行光束经过标准镜[20]和被测件[21]后返回，再经过离轴抛物面反射镜[8]反射变为会聚的球面波，会聚球面波的一部分经大分光镜[7]的前表面反射，依次透射经过小分光镜[6]、小孔光阑[9]和成像透镜[10]，最终被测试红外探测器[11]采集形成测试成像光路；会聚球面波的另一部分经大分光镜[7]透射，经第一折转反射镜[12]折转光路，透射通过毛玻璃屏[13]衰减部分光强，再经第二折转反射镜[14]入射至成像透镜[15]，最终被对点红外探测器[16]采集形成对点成像光路；标准镜[20]和被测件[21]之间形成干涉腔，标准镜[20]装夹在二维调整架[17]上, 被测件[21]装夹在五维调整架[18]上，五维调整架[18]固定在导轨[19]的滑块上。