[发明专利]单晶硅制造装置无效
| 申请号： | 201110026811.5 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102061516A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 渡边健一;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种单晶硅制造装置，包括密闭真空单晶炉、该单晶炉内设置有加热器、加热器的内侧空间内设置有一支撑托盘，该托盘上直接承接了一个用于盛装硅溶液的石英坩埚，在该石英坩埚外可拆卸地套接了一个C/C套筒，该C/C套筒上下开口，底部置于所述支撑托盘上。本发明具有效率高、质量轻拆装方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶硅制造装置，包括一密闭真空单晶炉、该单晶炉内设置有加热器、加热器的内侧空间内设置有一支撑托盘，其特征在于，该托盘上直接承接了一个用于盛装硅溶液的石英坩埚，在该石英坩埚外可拆卸地套接了一个C/C套筒，该C/C套筒上下开口，底部置于所述支撑托盘上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海汉虹精密机械有限公司，未经上海汉虹精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110026811.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：纯化促红细胞生成素的方法
- 下一篇：水回收系统和方法
