[发明专利]一种蓝宝石切片的研磨方法无效
| 申请号： | 201110000944.5 | 申请日： | 2011-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN102152228A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徐良 | 申请（专利权）人： | 苏州辰轩光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石切片的研磨方法，其特征在于，所述研磨方法以“切片固定在抛光头部，压在装着研磨布的回转定盘上进行切片研磨的研磨方法”作为前提，所述抛光头部的中心部与回转定盘的回转方向大约45°的角度方向上，所述回转定盘做往复运动。抛光头部的中心部与回转定盘的回转方向大约45°的角度方向上，回转定盘做往复运动，不产生同心圆状的凹凸不良；同时所述回转定盘上可以安装最大4组的抛光头部，多数切片的同时研磨可以达到；根据这些，可以提供用于制造高品质的氮化物半导体发光器件的低成本的蓝宝石基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 切片 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石切片的研磨方法，其特征在于，所述研磨方法以“切片固定在抛光头部，压在装着研磨布的回转定盘上进行切片研磨的研磨方法”作为前提，所述抛光头部的中心部与回转定盘的回转方向大约45°的角度方向上，所述回转定盘做往复运动。
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