[发明专利]利用喷射的电池活性锂材料的原位合成与沉积无效
| 申请号： | 201080069172.4 | 申请日： | 2010-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN103109396A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | Q·上;L·杨;K·M·布朗;D·J·K·欧盖杜;V·佩贝尼托;H·博兰迪;石川哲也;R·Z·巴克拉克;L-Y·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M4/04 | 分类号： | H01M4/04;H01M10/0525;H01G9/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于形成薄膜电池电化学层的方法和装置。包括电化学活性金属的液体前驱物混合物与氧反应以形成电化学活性金属氧化物，该电化学活性金属氧化物在基板上淀积为一层。可添加碳至混合物以控制对反应的能量输入且在沉积在基板上的晶体之间提供附着和导电性。前驱物到沉积晶体的转换看在两阶段工艺中完成。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 喷射 电池 活性 材料 原位 合成 沉积 | ||
【主权项】：
一种用于在基板上形成电化学层的装置，该装置包括：第一处理级，所述第一处理级带有液体前驱物源、雾化气体源、和耦接至第一分配器的干燥能量源；靠近所述第一分配器的收集级，所述收集级包括固体容器；以及第二处理级，所述第二处理级带有靠近所述收集级的第二分配器，和耦接至所述第二分配器的活化能量源。
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