[发明专利]产生用于对衬底表面图案化的等离子体放电的设备和方法无效
| 申请号： | 201080065601.0 | 申请日： | 2010-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN102823331A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 保卢斯·佩特鲁斯·玛利亚·布洛姆;阿尔昆·阿方斯·伊丽莎白·史蒂文斯;劳伦西亚·约翰娜·回吉布雷格特斯;雨果·安东·玛丽·德哈恩;安东尼尔斯·休伯特斯·万斯基恩戴尔;埃德温·特斯莱格特;尼古拉斯·克尼里斯·约瑟夫斯·万海宁根;汤姆·惠斯卡姆普 | 申请（专利权）人： | 视觉动力控股有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;施蕾 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 用于在衬底附近产生用于图案化衬底表面的等离子体放电的设备，包括：具有第一放电部分的第一电极和具有第二放电部分的第二电极、在第一电极和第二电极之间产生高电压差的高压源、和相对于衬底定位第一电极的定位装置。该设备还具有中间结构，在使用时，该中间结构设置在第一电极和衬底之间，同时相对于衬底定位第一电极。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 用于 衬底 表面 图案 等离子体 放电 设备 方法 | ||
【主权项】：
用于在衬底附近产生用于图案化所述衬底的表面的等离子体放电的设备，包括：具有第一放电部分的第一电极和具有第二放电部分的第二电极，用于在所述第一电极和所述第二电极之间产生高电压差的高压源，以及用于相对于所述衬底定位所述第一电极的定位装置，其中，所述设备还具有中间结构，所述中间结构在使用时设置在所述第一电极和所述衬底之间。
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