[发明专利]用于特征化光学系统的偏振特性的布置及方法有效
| 申请号： | 201080061827.3 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102713761A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | U.海姆佩尔曼;M.门格尔;P.休伯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于特征化光学系统(尤其是微光刻投射曝光设备的光学系统)的偏振特性的布置及方法，该布置包含：至少一个偏振态产生器(130、230、330)，其设定入射于光学系统上的辐射的限定的偏振状态；以及偏振态检测器(140、240、340)，其适配于测量从该光学系统发出的辐射的出射偏振状态；其中该光学系统被设计用于小于15nm的工作波长；并且其中该偏振态产生器和/或该偏振态检测器被设计成其对入射光束的偏振光学作用在所述光束的至少10°的角谱上基本固定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 特征 光学系统 偏振 特性 布置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于特征化光学系统、尤其是微光刻投射曝光设备的光学系统的偏振特性的布置，包含：至少一个偏振态产生器(130、230、330)，其设定入射于所述光学系统上的辐射的限定的偏振状态；以及偏振态检测器(140、240、340)，其适配于测量从所述光学系统发出的辐射的出射偏振态；其中所述光学系统被设计用于小于15nm的工作波长；并且其中所述偏振态产生器(130、230、330)和/或所述偏振态检测器(140、240、340)被设计成其对入射光束的偏振光学作用在所述光束的至少10°的角谱上基本固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080061827.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
