[发明专利]振动反射镜元件及振动反射镜元件的制造方法有效
| 申请号： | 201080059806.8 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102695978A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 小寺秀俊;神野伊策;村山学;藤井仁 | 申请（专利权）人： | 船井电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂宁乐;向勇 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够抑制在支撑部上产生弯曲变形的振动反射镜元件。该振动反射镜元件（100）具有反射镜部（10）、能够变形的驱动部（41、43、45、51、53、55）以及在一侧端部（42a、44a、46a、52a、54a、56a）侧与驱动部的一侧连接部（41c、43d、45d、51c、53d、55d）相连接的支撑部（42、44、46、52、54、56），并且支撑部的厚度大于驱动部的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 反射 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种振动反射镜元件（100），其特征在于，具有：反射镜部（10），驱动部（41、43、45、51、53，55），其能够变形，并且包含一侧连接部（41c、43d、45d、51c、53d、55d），而且在第一方向上延伸成直线状，支撑部（42、44、46、52、54、56），其一侧端部（42a、44a、46a、52a、54a、56a）侧与所述驱动部的一侧连接部相连接，并且在所述第一方向上延伸成直线状；所述支撑部的厚度大于所述驱动部的厚度。
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