[发明专利]利用分束器进行激光剥离方法的方法和装置

摘要

在装置（100）的实施方式中，该装置被设立用于激光剥离方法以从载体（3）分离至少一个层（2）。该装置（100）包括用于生成例如脉冲式激光束（L）的激光器以及至少一个分束器（4a，4b）。所述激光束（L）借助于至少一个分束器（4a，4b）被划分为至少两个子束（P1，P2）。所述子束(P1，P2)在照射面（10）上叠加，其中所述照射面（10）被设置成所述载体（3）的背朝所述层（2）的主面（30）被布置在该照射面上。在所述照射面（10）上所述至少两个子束（P1，P2）之间的角度（α）至少为1.0°。

主权项

用于激光剥离方法的装置（100），用以从载体（3）分离至少一个层（2），具有：‑用于生成激光束（L）的激光器，以及‑至少一个分束器（4），其中‑所述激光束（L）借助于至少一个分束器（4）被划分为至少两个子束（P），‑所述至少两个子束(P)在照射面（10）上叠加，‑所述照射面（10）被设置成所述载体（3）的背朝所述层（2）的主面（30）被布置在该照射面上，以及‑在所述照射面（10）上所述至少两个子束（P）相互之间的角度（α）至少为1.0°。