[发明专利]制造至少一变形膜微泵的方法及变形膜微泵有效
| 申请号： | 201080051330.3 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102782324A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 伊夫·法布里斯;弗朗索瓦·贝厄罗斯;马丁·切特;桑德琳·毛贝特 | 申请（专利权）人： | 法国原子能与替代能委员会 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;B81B1/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与所述第一衬底（10）相互组装在一起的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二衬底（20）包含面对所述孔穴（12-2）设置的至少一变形膜（22-2）。所述方法包含下列步骤：在所述第一衬底（10）内制造所述孔穴（12-2）；然后组装所述第一衬底（10）以及所述第二衬底（10）；然后在所述第二衬底内（20）制造所述变形膜（22-2）。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 至少 变形 膜微泵 方法 | ||
【主权项】：
一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与第一衬底（10）相互组装在一起的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12‑2）及所述第二衬底包含面对所述孔穴（12‑2）设置的至少一变形膜（22‑2），所述第一衬底（10）及所述第二衬底（20）是一起界定一微通道的一部分，其中所述孔穴（12‑2）及所述变形膜（22‑2）位于所述微通道，所述方法包含下列步骤：在所述第一衬底（10）内制造所述孔穴（12‑2）；然后在所述第二衬底（20）制造所述变形膜（22‑2）；以及将所述第一衬底（10）以及所述第二衬底（20）组装在一起；其特征在于，制造所述变形膜的步骤在组装所述第一衬底以及所述第二衬底的步骤之后完成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于法国原子能与替代能委员会，未经法国原子能与替代能委员会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080051330.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
