[发明专利]制造至少一变形膜微泵的方法及变形膜微泵

权利要求书

1.一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与第一衬底（10）相互组装在一起的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二衬底包含面对所述孔穴（12-2）设置的至少一变形膜（22-2），所述第一衬底（10）及所述第二衬底（20）是一起界定一微通道的一部分，其中所述孔穴（12-2）及所述变形膜（22-2）位于所述微通道，

所述方法包含下列步骤：

在所述第一衬底（10）内制造所述孔穴（12-2）；

然后在所述第二衬底（20）制造所述变形膜（22-2）；以及

将所述第一衬底（10）以及所述第二衬底（20）组装在一起；

其特征在于，制造所述变形膜的步骤在组装所述第一衬底以及所述第二衬底的步骤之后完成。

2.如权利要求1所述的制造至少一变形膜微泵的方法，其特征在于，所述第二衬底（20）还包含一顶面（21S）及一底面（21I），所述第二衬底（20）在所述第二衬底（20）的底面与所述第一衬底（10）组装，制造所述变形膜（22-2）的步骤是通过从所述顶面（21S）对所述第二衬底（20）进行一剪薄，所述剪薄是通过机械抛光、化学机械抛光或蚀刻进行的。

3.如权利要求1或2所述的制造至少一变形膜微泵的方法，其特征在于，组装步骤是通过分子接合、阳极化、共晶接合或粘合进行的。

4.如权利要求1到3任一项所述的制造至少一变形膜微泵的方法，其特征在于，所述第一衬底（10）还包含一与所述孔穴（12-2）相连通的管路（14；15），一后续剪薄步骤通过蚀刻由所述底面（11I）制造的所述第一衬底（10）的至少一部分，以使所述管路（14；15）为一贯穿管路。

5.如权利要求4所述的制造至少一变形膜微泵的方法，其特征在于，组装步骤为在一真空环境完成。

6.如权利要求1到5任一项所述的制造至少一变形膜微泵的方法，其特征在于，在制造所述变形膜的步骤之后，所述第二衬底（20）在其整个表面具有一基本上水平的顶面（21S）。

7.如权利要求6所述的制造至少一变形膜微泵的方法，其特征在于，一后续沉积步骤、一后续光刻步骤及一后续蚀刻步骤在所述第二衬底的顶面（21S）上完成。

8.一种变形膜微泵，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与所述第一衬底（10）相互组装的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二衬底（20）包含面对所述孔穴（12-2）设置的至少一变形膜（22-2），所述第一衬底（10）及所述第二衬底（20）是一起界定一微通道的一部分，其中所述孔穴（12-2）及所述变形膜（22-2）位于所述微通道，其特征在于，所述第二衬底（20）具有一沿着所述微通道的一部分的基本上不变的厚度。

9.如权利要求8所述的变形膜微泵，其特征在于，所述第二衬底（20）还包含一顶面（21S）及一底面（21I），所述第二衬底（20）于所述第二衬底（20）的底面（21I）组装所述第一衬底（10），所述第二衬底（20）在其整个表面具有一基本上水平的顶面（21S）。

10.如权利要求8或9所述的变形膜微泵，其特征在于，所述变形膜（22-2）具有一小于或等于300微米的厚度。

11.如权利要求8到10任一项所述的变形膜微泵，其特征在于，所述第一衬底（10）及所述第二衬底（20）优选地由硅、硅基绝缘体或玻璃制造。

12.如权利要求8到11任一项所述的变形膜微泵，其特征在于，所述第一衬底（10）包含至少一凸座（17），所述凸座（17）设置于所述孔穴（12-2）内并面对所述变形膜（22-2），以形成用于所述变形膜的一支座。