[发明专利]具有改良RF热切换性能及可靠性的微机械数字电容器有效
| 申请号： | 201080047652.0 | 申请日： | 2010-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN102640410A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 理查德·L·奈普;罗伯图斯·P·范坎彭;阿纳特兹·乌纳穆诺 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;王金宝 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明一般涉及能够热切换的RF MEMS装置。RF MEMS装置通过利用一或多个弹簧机构能够热切换。在某些实施例中，可以使用在MEMS装置的悬臂的位移中的特定点转为啮合的两组或两组以上弹簧。弹簧允许显著增加给定拉入下落电压的释放电压。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改良 rf 切换 性能 可靠性 微机 数字 电容器 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：衬底，所述衬底具有在所述衬底中形成的一或多个电极；电绝缘层，所述电绝缘层布置在所述衬底和所述一或多个电极上方；一或多个下落结构，所述一或多个下落结构耦接于所述衬底；MEMS元件，所述MEMS元件耦接于所述衬底，所述MEMS元件可从第一位置移动到与所述电绝缘层间隔的第二位置，所述MEMS元件包括第一部分和第二部分，所述第一部分在所述MEMS元件处于所述第一位置中时接触所述电绝缘层，所述第二部分在所述MEMS元件处于所述第二位置中时接触所述一或多个下落结构。
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