[发明专利]通过热喷涂原位沉积电池活性锂材料有效
| 申请号： | 201080044996.6 | 申请日： | 2010-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102782176A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 上泉元;L·杨;K·M·布朗;D·J·K·欧盖杜;V·佩贝尼托;H·博兰迪;石川哲也;R·Z·巴克拉克;L-Y·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C4/12 | 分类号： | C23C4/12;C23C4/04;C23C4/18;B05D1/08;B05D3/00;B05D7/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡林岭;刘佳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文提供形成薄膜电池的电化学层的方法与设备。将包括散布于携带媒介的电化学活性前体微粒的前体混合物提供至处理腔室，并利用亦提供至腔室的可燃气体混合物进行热处理。通过热能将前体转换成纳米晶体，并将纳米晶体沉积于基板上。当纳米晶体沉积于表面上时可与第二前体混合以提高附着力与导电率。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 喷涂 原位 沉积 电池 活性 材料 | ||
【主权项】：
一种在基板上形成层的方法，包括：提供电化学沉积材料的浆状物至处理腔室；提供包括过量碳的可燃气体至该处理腔室；形成该电化学沉积材料的纳米晶体；及在基板上沉积该些纳米晶体。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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C23C4-18 .后处理
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