[发明专利]三维方向漂移控制装置以及显微镜装置有效
申请号: | 201080040703.7 | 申请日: | 2010-07-13 |
公开(公告)号: | CN102483509A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 西川宗 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G02B7/28 | 分类号: | G02B7/28;G02B21/26 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 谢丽娜;关兆辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及迅速且可靠地校正物镜和标本的相对位置偏离的三维方向漂移控制装置及显微镜装置。从光源(30)射出的近红外光照射到载物台(21)上的保持标本(12)的玻璃罩表面。近红外光的一部分被刃状物(34)遮光。若近红外光照射到玻璃罩,则产生近红外光的正反射光和散射光,正反射光和散射光经由物镜(22)至补偿透镜组(35)而入射到半透明反射镜(33)。在半透明反射镜(33)被反射的正反射光被刃状物(34)遮光。夹持处理部(41)基于在半透明反射镜(33)反射而入射到二维光电转换器(39)的散射光的像,检测物镜(22)相对于标本(12)在图中横向的偏离,根据其检测结果控制驱动部(42)而使载物台(21)移动。本发明能够适用于显微镜。 | ||
搜索关键词: | 三维 方向 漂移 控制 装置 以及 显微镜 | ||
【主权项】:
一种三维方向漂移控制装置,其特征在于,具备:物镜,用于观察观察对象;光源,经由上述物镜将照射光照射到上述观察对象;第一遮光部,将从上述光源入射到上述物镜的上述照射光的一部分遮光;第一受光部,经由上述物镜接受在被照射了上述一部分被遮光的上述照射光的上述观察对象上正反射的正反射光;第一控制部,基于上述第一受光部接受上述正反射光而获得的信号,使上述物镜和上述观察对象的相对位置关系向上述物镜的光轴方向变化;第二受光部,经由上述物镜接受因上述一部分被遮光的上述照射光被照射到保持上述观察对象的观察对象以外的保持部件而产生的散射光;以及第二控制部,基于上述第二受光部接受上述散射光而获得的信号,使上述物镜和上述观察对象的相对位置关系向垂直于上述光轴的方向变化。
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