[发明专利]含有共聚物的感光性树脂组合物

摘要

本发明的课题是提供具有所需的特性的感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法是，一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：具有下述式(1)所示的结构单元和下述式(2)所示的至少1种结构单元的共聚物、以及(B)成分：感光剂。(式中，2个X各自独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基，Y表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基；其中，该烷基、该环烷基、该苯基和该苄基的氢原子的一部分或全部可以被卤原子、羧基、羟基、氨基或硝基取代)。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其含有下述(A)成分和(B)成分：(A)成分：具有下述式(1)所示的结构单元和下述式(2)所示的至少1种结构单元的共聚物，以及(B)成分：感光剂，式中，2个X各自独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基，Y表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基；其中，该烷基、该环烷基、该苯基和该苄基的氢原子的一部分或全部可以被卤原子、羧基、羟基、氨基或硝基取代。