[发明专利]相对压力传感器

摘要

一种相对压力传感器，包括：压力测量变换器11，该压力测量变换器具有半导体芯片12的测量膜和平台13，其中，在测量膜和平台二者之间形成基准压力腔；支撑主体14，其中平台借助承压粘附体9与该支撑主体相连接，其中基准压力路径延伸穿过两个前述元件进入到基准压力腔中；传感器外部主体20，在该传感器外部主体中形成变换器腔21，该变换器腔21具有第一开口和第二开口23，其中通过该第一开口将压力测量变换器11带入到变换器腔中并且借助支撑主体将所述压力测量变换器11保持在该变换器腔21中，其中支撑主体压密地密封第一开口，并且其中测量膜的背离基准压力腔的一侧通过第二开口与介质压力可接触；其中基准压力路径具有充气的密封段，该充气的密封段从基准压力腔延伸至少穿过承压粘附体9，其中密封段借助柔性镀金属塑料箔19气密地密封。

主权项

相对压力传感器，包括：压力测量变换器(11)，其中所述压力测量变换器具有半导体芯片(12)的测量膜和平台(13)，其中，在所述测量膜和所述平台(13)之间形成基准压力腔；支撑主体(14)，其中所述平台借助承压粘附体(9)与所述支撑主体相连接。其中基准压力路径延伸穿过所述平台(13)和所述支撑主体(14)，使得把基准压力引入到所述基准压力腔中。传感器外部主体(20)，在所述传感器外部主体中形成变换器腔，其中所述变换器腔具有第一开口和第二开口(23)，其中经所述第一开口把所述压力测量变换器(11)带入到所述变换器腔中，并且借助所述支撑主体把所述压力测量变换器保持在所述变换器腔中，其中所述支撑主体(14)压密地密封所述第一开口，并且其中所述测量膜的背离所述基准压力腔的一侧经所述第二开口与介质压力可接触。所述相对压力传感器的特征在于：所述基准压力路径具有充气的密封段，所述充气的密封段从所述基准压力腔延伸至少穿过所述承压粘附体(9)，其中该密封段借助柔性镀金属塑料箔(19)气密地密封。