[发明专利]图像采集

摘要

一种用于创建基板图像的检验系统。光源引导入射光至基板上，以及光源定时控制器控制该入射光的脉冲定时。台面承载该基板且在该入射光下移动该基板，以使基板反射该入射光为反射光。台面位置传感器报告该台面的位置，以及台面位置控制器控制该台面的位置。时域积分传感器接收该反射光，以及时域积分传感器定时控制器控制该时域积分传感器的行位移。控制系统与光源定时控制器、台面位置控制器以及时间延迟积分传感器定时控制器通信，并且设置该入射光的脉冲定时、台面的位置以及时间延迟积分传感器的行位移，以使该时域积分传感器的单行积分来自源于该光源的一个以上脉冲的入射光的反射光。

主权项

一种用于创建基板图像的检验系统，所述检验系统包括：光源，用于引导入射光至所述基板上；光源定时控制器，用于控制所述入射光的脉冲定时；台面，用于承载所述基板且在所述入射光下移动所述基板，由此所述基板反射所述入射光为反射光；台面位置传感器，用于报告所述台面的位置；台面位置控制器，用于控制所述台面的位置；时域积分传感器，用于接收所述反射光；时域积分传感器定时控制器，用于控制所述时域积分传感器的行位移；以及控制系统，其与所述台面位置控制器和时间延迟积分传感器定时控制器通信，用于设置所述台面的位置以及所述时间延迟积分传感器的行位移，以使所述台面和所述时间延迟积分传感器在单个行位移内积分来自源于所述光源的一个以上脉冲的入射光的反射光以形成图像。