[发明专利]用于在层中和/或上产生图案的构图设备

摘要

本发明涉及一种用于经由会聚光束（40）在层（32，34）中和/或上产生图案（20，22，24）的构图设备（10，12）。该构图设备包括：用于产生会聚光束（40）的光源（50）、用于将会聚光束（40）分裂成多个会聚子束（40A，40B，40C）的衍射光学元件（60）以及用于相对于多个会聚子束定位该层以用于产生该图案的定位装置（70）。会聚子束配置成用于在层中和/或上产生图案。多个会聚子束中的至少两个子束包括基本相等的强度。根据本发明的构图设备的效果在于，单个会聚光束分裂成多个会聚子束以使用多个会聚子束产生多光斑构图，该多光斑构图用于对相对大的区域进行构图。这样，用于填充该图案中的该区域且用于在层中和/或上产生图案的构图时间明显减小。

主权项

一种用于经由会聚光束（40）在层（32，34）中和/或上产生图案（20，22，24）的构图设备（10，12），该构图设备（10，12）包括：光源（50），用于产生该会聚光束（40），衍射光学元件（60），用于将会聚光束（40）分裂成多个会聚子束（40A，40B，40C），该多个会聚子束（40A，40B，40C）配置成用于在层（32，34）中和/或上产生图案（20，22，24），该多个会聚子束（40A，40B，40C）中的至少两个子束（40A，40B，40C）包括基本相等的强度，以及定位装置（70），用于相对于该多个会聚子束（40A，40B，40C）定位该层（32，34）以用于产生该图案（20，22，24）。