[发明专利]用于检查涂覆表面的放气方法无效
| 申请号： | 201080029201.4 | 申请日： | 2010-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102460131A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | T·E·费斯克;J·弗古森;J·R·弗里德曼 | 申请（专利权）人： | CV控股有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/954 | 分类号： | G01N21/954;G01N21/952;G01N21/90;A61J1/05 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宁家成 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此提供了用于检查涂覆工艺的产品的一种方法。其中，测量了至少一种挥发性物种从该涂覆表面到与该涂覆表面邻近的气体空间中的释放并且将该结果与对于在相同试验条件下测量的至少一个参考对象的结果进行比较。从而可以确定该涂层的存在或缺乏、和/或该涂层的物理和/或化学特性。该方法对于检查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。还披露了它的在由有机硅前体制成的PECVD涂层尤其是阻挡涂层的检查方面的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 表面 放气 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检查涂覆工艺的产品的方法，其中一种涂层已经被施加到基底的表面上以形成涂覆的表面，该方法包括以下步骤：(a)提供该产品作为检查对象；(c)测量至少一种挥发性物种从该检查对象到与该涂覆的表面相邻的气体空间中的释放；以及(d)将步骤(c)的结果与对于在相同测试条件下测量的至少一个参考对象的步骤(c)的结果进行比较，从而确定该涂层的存在或不存在、和/或该涂层的物理和/或化学性能。
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