[发明专利]图像补偿可寻址的静电卡盘系统

摘要

提供系统和方法用于使用图像补偿可寻址的静电卡盘以校正光刻系统的成像误差。图像补偿可寻址的静电卡盘包括基底、多个第一电极、多个第二电极以及支撑层。多个第一电极设置在基底上并且沿第一方向均匀间隔开。多个第二电极设置在基底上并且沿第二方向均匀地间隔开，所述第二方向与第一方向大体正交。支撑层设置在多个电极上方以支撑物体。多个第一电极和第二电极的位置交叠部分形成静电作用力点的矩阵，使得在给与给定作用力点相关的多个第一电极和第二电极对通电时，不均匀静电作用力在给定作用力点的附近作用在物体上。

主权项

一种静电卡盘，包括：基底；多个第一电极，设置在基底上并且沿第一方向均匀地间隔开；多个第二电极，设置在基底上、定位在由多个第一电极限定的区域内并且沿第二方向均匀地间隔开，所述第二方向与第一方向大体正交；和支撑层，设置在多个电极上方以支撑物体，其中多个第一电极和第二电极的位置交叠部分形成静电作用力点的矩阵，使得在给与给定作用力点相关的多个第一电极和第二电极对通电时，不均匀静电作用力在给定作用力点的附近作用在所述物体上。