[发明专利]确定工艺模块级失控事件的装置及其方法

摘要

本发明提供了配置为方便等离子处理系统中的基底加工的工艺级故障排除体系结构(PLTA)。所述体系结构包括工艺模块控制器。所述体系结构还包括多个传感器，其中多个传感器中的每个传感器与工艺模块控制器通信以收集关于一种或多种工艺参数的检测数据。所述体系结构还包括工艺模块级分析服务器，其中工艺模块级分析服务器与多个传感器和工艺模块控制器直接通信。所述工艺模块级分析服务器配置为接收数据，其中所述数据包括来自多个传感器的检测数据和来自工艺模块控制器的工艺模块和室数据的至少一种。所述工艺模块级分析服务器还配置用于分析数据并且当在基底加工期间识别出问题时将禁止数据直接发送给工艺模块控制器。

主权项

配置为方便等离子处理系统中的基底加工的工艺级故障排除体系结构(PLTA)，包括：工艺模块控制器；多个传感器，其中所述多个传感器中的每个传感器与所述工艺模块控制器通信以收集关于一种或多种工艺参数的检测数据；和工艺模块级分析服务器，其中所述工艺模块级分析服务器与所述多个传感器和所述工艺模块控制器直接通信，其中所述工艺模块级分析服务器配置用于接收数据，其中所述数据包括来自所述多个传感器的所述检测数据和来自所述工艺模块控制器的工艺模块和室数据中的至少一种，分析所述数据，和当在所述基底加工期间识别出问题时将禁止数据直接发送给所述工艺模块控制器。