[发明专利]保护性涂层、保护基材的方法及其应用无效
申请号: | 201080024931.5 | 申请日: | 2010-06-01 |
公开(公告)号: | CN102459702A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | M·赛康恩;L·古兹曼 | 申请(专利权)人: | 贝尼科公司 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;C23C16/455;C23C28/02;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/34 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵蓉民;陆惠中 |
地址: | 芬兰*** | 国省代码: | 芬兰;FI |
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摘要: | 通过在基材(1)上沉积包含基本上平行于基材(1)表面取向的上表面(4)的第一层(3)保护基材(1)免受由基材(1)与环境相互作用引起的影响的方法和保护性涂层。该方法包括以下步骤:通过使第一层(3)暴露于两种或多种不同前体交替重复的表面反应而将第二层(5)沉积在第一层(3)上,以用第二层(5)的材料至少部分地填充第一层(3)中的孔隙(7),所述孔隙(7)开口通至上表面(4),以便第二层(5)顺应孔隙(7)的表面形状。 | ||
搜索关键词: | 保护性 涂层 保护 基材 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
通过在基材(1)上沉积包含基本上平行于所述基材(1)表面取向的上表面(4)的第一层(3)而保护所述基材(1)免受由所述基材(1)与环境相互作用引起的影响的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:通过使所述第一层(3)暴露于两种或多种不同前体交替重复的表面反应而将第二层(5)沉积在所述第一层(3)上,以用所述第二层(5)的材料至少部分地填充所述第一层(3)中的孔隙(7),所述孔隙(7)开口通至所述上表面(4),以便所述第二层(5)顺应所述孔隙(7)的表面形状,以及其特征在于所述第一层(3)主要由钛、铝和氮的化合物组成,而所述第二层(5)的材料主要是金属氧化物。
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