[发明专利]物理量传感器有效
| 申请号： | 201080022073.0 | 申请日： | 2010-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102439405A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 中西努;小林康展;藤田孔明 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种物理量传感器，具备梁状的振动体和支撑梁状的振动体的两端的固定部。另外，在梁状的振动体的中央部形成驱动元件，在两端部形成反馈元件。构成为使梁状的振动体进行固有振动，并通过检测振动体的固有振动频率来检测作用于梁状的振动体的物理量。由此，能够以稳定的状态检测作用于物体的应变和载荷等物理量。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，构成为具备：梁状的振动体；固定部，支撑所述振动体的两端；第1压电元件，形成于所述振动体的中央部；第2压电元件，形成于所述振动体的一个端部；和第3压电元件，形成于所述振动体的另一端部，将所述第1压电元件作为驱动元件，将所述第2压电元件和所述第3压电元件作为反馈元件，使所述振动体进行固有振动，并通过测量所述振动体的固有振动频率来检测作用于所述振动体的物理量。
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