[发明专利]物理量传感器有效
| 申请号： | 201080022073.0 | 申请日： | 2010-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102439405A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 中西努;小林康展;藤田孔明 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 | ||
1.一种物理量传感器，构成为具备：
梁状的振动体；
固定部，支撑所述振动体的两端；
第1压电元件，形成于所述振动体的中央部；
第2压电元件，形成于所述振动体的一个端部；和
第3压电元件，形成于所述振动体的另一端部，
将所述第1压电元件作为驱动元件，
将所述第2压电元件和所述第3压电元件作为反馈元件，
使所述振动体进行固有振动，并通过测量所述振动体的固有振动频率来检测作用于所述振动体的物理量。
2.一种物理量传感器，构成为具备：
梁状的振动体；
固定部，支撑所述振动体的两端；
第1压电元件，形成于所述振动体的中央部；
第2压电元件，形成于所述振动体的一个端部；和
第3压电元件，形成于所述振动体的另一端部，
将所述第1压电元件作为反馈元件，
将所述第2压电元件和所述第3压电元件作为驱动元件，
通过以同振幅、同相位驱动所述第2压电元件和所述第3压电元件，从而使所述振动体进行固有振动，并通过测量所述振动体的固有振动频率来检测作用于所述振动体的物理量。
3.一种物理量传感器，构成为具备：
梁状的振动体；
固定部，支撑所述振动体的两端；
第1压电元件，形成于所述振动体的中央部；
第2压电元件，形成于所述振动体的一个端部；
第3压电元件，形成于所述振动体的另一端部；
第4压电元件，形成于所述第2压电元件的附近；和
第5压电元件，形成于所述第3压电元件的附近，
将所述第1压电元件作为检测元件，
将所述第2压电元件及所述第3压电元件作为驱动元件，
将所述第4压电元件及所述第5压电元件作为反馈元件，
通过以同振幅、同相位驱动所述第2压电元件和所述第3压电元件，从而使所述振动体进行固有振动，
由所述第4压电元件和所述第5压电元件反馈振动状态，
通过由所述第1压电元件检测所述振动体的固有振动频率来检测作用于所述振动体的物理量。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第2压电元件和所述第3压电元件相对于所述振动体的中心形成在对称位置。
5.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第4压电元件和所述第5压电元件相对于所述振动体的中心形成在对称位置。
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