[发明专利]智能温度测量装置有效

专利信息
申请号: 201080020268.1 申请日: 2010-04-30
公开(公告)号: CN102439402A 公开(公告)日: 2012-05-02
发明(设计)人: R·K·阿加瓦尔;R·康纳 申请(专利权)人: ASM美国股份有限公司
主分类号: G01K7/02 分类号: G01K7/02;G01K1/20;G01K1/00;H01L21/66;G05D23/22;G05D23/19
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 钱慰民
地址: 美国亚*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供一种具有集成的智能芯片或电子电路的温度测量装置。该智能芯片或电子电路,包括存储于其中的针对不同温度测量装置的至少一唯一标识号或数据。该电子电路进一步包括存储于其中的温度测量装置的校正数据。温度控制系统的模块控制器被配置为在允许数据在温度测量装置和温度控制器之间进行传输前验证热电偶组件的唯一标识号。图形用户界面允许操作者输入唯一标识号或数据来验证温度测量装置并且当输入的号码或数据与存储在电子电路中的唯一标识号或数据不相同或不匹配时显示错误消息。
搜索关键词: 智能 温度 测量 装置
【主权项】:
一种热电偶组件,包括:用于测量温度的至少一个热电偶接头;以及其上存储校正数据和唯一标识号的电子电路,其中所述至少一个热电偶接头可操作地连接到所述电子电路。
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