[发明专利]经由磁约束获得的带电微粒耗尽等离子体的薄膜沉积

摘要

在存在磁场的情况下经由等离子体沉积过程形成薄膜材料的方法和装置。前体被递送到沉积室并且被激活以形成等离子体。等离子体可在存在磁场的情况下被初始化或者在初始化之后经过磁场。等离子体包括从前体获得的电离粒种和中性粒种，并且磁场操纵等离子体以实现电离粒种种群的减少和中性粒种的种群的增加。随后，由得到的富含中性沉积介质形成薄膜材料。所述方法使得可以形成具有低密度缺陷的薄膜材料。在一个实施方案中，薄膜材料为光伏材料，并且对缺陷的抑制使得光伏效率提高。

主权项

一种形成薄膜材料的方法，包括：提供一种或多种前体；激活所述前体以形成等离子体，所述等离子体包括多种粒种，所述多个粒种包括一个或多个带电粒种以及一个或多个中性粒种；借助于磁场来操纵所述等离子体，对所述等离子体的所述操纵降低了所述等离子体中所述带电粒种的浓度，从而生成带电微粒耗尽沉积介质；以及由所述带电微粒耗尽沉积介质形成薄膜材料。