[发明专利]用于形成外部电极的载板及其制造方法无效
申请号: | 201080015754.4 | 申请日: | 2010-01-29 |
公开(公告)号: | CN102388446A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 卢灿荣;金学承 | 申请(专利权)人: | GTEC公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01G4/005 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华;石磊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供用于固定多个在其上将要形成外部电极的芯片元件的载板及其制造方法。该载板包括:在板的两面上形成的至少一芯片固定区域;贯穿该芯片固定区域的底部的多个开孔;以及所述芯片固定区域上形成的预设厚度的橡胶层,使得该橡胶层覆盖芯片固定区域,同时在开孔内形成支撑孔,其中所述支撑孔的内径小于所述开孔的内径,芯片元件将被插入到所述支撑孔中,以使得所述芯片元件的外部周向表面接触到所述支撑孔的内部周向表面,其中所述芯片固定区域被成型成凹陷状,使得所述芯片固定区域的底部低于金属板的表面。 | ||
搜索关键词: | 用于 形成 外部 电极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种用于固定多个芯片元件的载板,在所述芯片元件上待形成外部电极,所述载板包括:在金属板的两面上形成的至少一芯片固定区域;被成型为贯穿所述芯片固定区域的底部并以预设间隔对齐的多个开孔;以及在所述芯片固定区域上形成至预设厚度的橡胶层,使得该橡胶层覆盖所述芯片固定区域、同时在所述开孔内形成支撑孔,其中所述支撑孔具有比所述开孔的内径小的内径,所述支撑孔将被芯片元件插入使得所述芯片元件的外部周向表面接触到所述支撑孔的内部周向表面,其中所述芯片固定区域被成型为凹陷状,以使得所述芯片固定区域的底部低于所述金属板的表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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