[发明专利]复合材料的制造方法和制造装置

摘要

本发明提供一种基于CVD法高效地制造在基材的表面具备碳纳米管(CNT)的复合材料的方法。该方法中，在以能够相对于长轴旋转并且长轴的一端侧10a高的方式倾斜设置的筒体10所具备的能够加热的腔室内供给CNT载持用基材P和碳源蒸汽V，在该基材的表面生成CNT。确定CNT载持用基材导入部30和碳源蒸汽供给部40，以使CNT载持用基材和碳源蒸汽的接触在设置于靠近腔室内的上游的至少一部分的反应区域12进行。另外，在腔室的内周壁设置有凸部20。由此，通过使该筒体旋转，CNT载持用基材被该凸部捕获，一边重复提升和落下，一边使其从筒体的上游侧移动到下游侧。

主权项

一种制造方法，用于制造具备基材和存在于该基材的表面的碳纳米管的复合材料，其特征在于，包括：准备筒体的步骤，该筒体在内部具备能够流通气体的长形腔室，设置为能够相对于长轴旋转且设置为能够加热该腔室内，以作为该长轴的一段侧的上游侧高于另一端侧的下游侧的方式倾斜设置；在该筒体的腔室内，导入预先在表面赋予了催化剂的所述基材的步骤；和在所述基材的表面供给含有用于在所述导入的基材上生成所述碳纳米管的碳源的蒸汽，在所述基材的表面生成碳纳米管的步骤，其中，确定该基材的导入部位和碳源蒸汽的供给部位，以使所述基材和碳源蒸汽的接触在设置于靠近所述腔室内的长轴方向的上游的至少一部分的反应区域进行，在面向所述反应区域的所述腔室的内周壁设置有凸部，通过使所述筒体绕所述轴旋转，重复用该凸部捕捉并提升位于所述内周壁上的所述基材，并使该提升的基材与所述碳源蒸汽以在所述反应区域内接触的方式落下，由此使该基材从上游侧移动至下游侧。