[发明专利]具有洗涤导管的减废设备

摘要

本发明公开了一种减废设备的实施例。某些实施例中，减废设备包括洗涤器，其配置以从处理腔室接收排放流，并进一步从排放流移除第一粒子；洗涤导管，其连接到洗涤器以从洗涤器接收排放流，并配置以从排放流移除第二粒子，该洗涤导管具有一或多个入口，该一或多个入口配置以提供流体以充分地湿润洗涤导管的内部表面，以捕集内部表面上的第二粒子并沿着内部表面冲刷第二粒子；以及中央洗涤器，其经由洗涤导管连接到洗涤器。某些实施例中，洗涤导管从洗涤器向下倾斜至中央洗涤器。某些实施例中，多个洗涤器经由多个洗涤导管连接到中央洗涤器。

主权项

一种减废设备，包含：洗涤器，其配置以从一或多个处理腔室接收排放流，并从所述排放流移除第一粒子；洗涤导管，其连接到所述洗涤器以从所述洗涤器接收所述排放流，并配置以从所述排放流移除第二粒子，所述洗涤导管具有一或多个入口，所述一或多个入口配置以提供流体以充分地湿润所述洗涤导管的内部表面，以捕捉所述内部表面上的第二粒子并沿着所述内部表面冲刷所述第二粒子；以及中央洗涤器，其经由所述洗涤导管连接到所述洗涤器。