[发明专利]制造接触的方法、接触和包括接触的太阳能电池

摘要

用于在包括硅衬底(2)的太阳能电池的背表面上提供至少一个接触的方法，包括将钝化层(3)沉积到硅衬底(2)上，其后提供至少一个接触部位，以及进一步提供构图的暴露的硅表面。然后沉积金属层(8)并对该结构(1)进行退火以形成金属硅化物(9)。其后该工艺包括可选地去除多余的金属(8)和最后将金属施加到硅化物(9)上以形成至少一个接触(10)。一种太阳能电池，包括背表面，该背表面包括通过上述的方法制造的接触。一种用于太阳能电池的背表面的接触(10)，包括硅衬底(2)，沉积到硅衬底(2)上的非晶硅层(3)，沉积到非晶硅层(3)上的具有至少一个开口(7)的反射层(6)，在至少一个开口(7)中留下硅化物(9)，额外的金属覆盖该硅化物(9)。

主权项

用于提供一种结构(1)的方法，所述结构在包括硅衬底(2)、至少一个掺杂区(13)的太阳能电池的背表面上具有至少一个接触，其中所述方法包括以下步骤：a)将钝化层(3)沉积到所述硅衬底(2)的所述背表面上，b)提供至少一个接触部位，c)提供构图的暴露的硅表面，d)非选择性地沉积金属层(8)，e)对所述结构(1)退火以形成金属硅化物(9)，f)在步骤e)之后去除多余的金属(8)，g)将金属施加到所述硅化物(9)上以形成至少一个接触(10)。