[发明专利]薄膜压电谐振器以及使用它的薄膜压电滤波器有效
| 申请号： | 201080005639.9 | 申请日： | 2010-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN102301590A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 岩下和树;土屋博史;田中谦介;丸山卓也 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 樊建中 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜压电谐振器以及使用它的薄膜压电滤波器。包括：基板(6)、压电层(2)、具有上部电极(10)以及下部电极(8)的压电谐振器叠堆(12)、和空隙(4)。压电谐振器叠堆(12)具有沿厚度方向看时上部电极和下部电极相互重叠的振动区域(40)，振动区域由第一振动区域、第二振动区域以及第三振动区域构成。沿厚度方向来看，第一振动区域存在于最外侧，第三振动区域存在于最内侧，并且与第一振动区域不相接触，第二振动区域介于第一振动区域与第三振动区域之间。振动区域(40)的一次厚度纵向振动的谐振频率在第一振动区域中为f1，在第三振动区域中为f2，其中，f1和f2满足f1＜f2的关系，在第二振动区域中，从与第一振动区域相接触的外侧部分朝向与第三振动区域相接触的内侧部分，一边取从f1到f2之间的值，一边增加。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 谐振器 以及 使用 滤波器 | ||
【主权项】：
一种薄膜压电谐振器，包括：基板；位于该基板上，且具有压电层和以夹住该压电层并且彼此相对的方式形成的上部电极以及下部电极的压电谐振器叠堆；和在上述基板与上述压电谐振器叠堆之间形成的空隙或声反射层，该薄膜压电谐振器的特征在于，该压电谐振器叠堆具有沿上述压电谐振器叠堆的厚度方向看时上述上部电极与上述下部电极相互重叠的振动区域，该振动区域包括第一振动区域、第二振动区域以及第三振动区域，沿上述压电谐振器叠堆的厚度方向来看，上述第一振动区域存在于最外侧，上述第三振动区域存在于最内侧，并且与上述第一振动区域不相接触，上述第二振动区域介于上述第一振动区域与上述第三振动区域之间，上述振动区域的一次厚度纵向振动的谐振频率在上述第一振动区域中为f1，在上述第三振动区域中为f2，其中，上述f1和上述f2满足f1＜f2的关系，在上述第二振动区域中，从与上述第一振动区域相接触的外侧部分朝向与上述第三振动区域相接触的内侧部分，一边取从f1到f2之间的值，一边增加。
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