[发明专利]用于带状束的离子束角度校准和发射度测量系统有效
| 申请号： | 201080005104.1 | 申请日： | 2010-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN102292791A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 马文·法利;罗纳德·博尔纳;杰弗里·莱丁;西奥多·斯米克;高尾坂濑;罗纳德·霍纳;爱德华·艾伊斯勒;布赖恩·弗瑞尔;马克·朗伯;多诺万·贝克尔;保罗·艾德 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带状 离子束 角度 校准 发射 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种离子束角度校准和发射度测量系统，包括：板，在所述板中具有细长缝，其中细长缝位于所述板的转动中心，用于使第一束部分在其中穿过；束电流探测器，位于所述板的下游，其中束电流探测器中具有允许第一束部分的第二束部分从中穿过的缝，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流；束角度探测器，位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流；其中所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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