[发明专利]多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法有效
申请号: | 201080001511.5 | 申请日: | 2010-07-12 |
公开(公告)号: | CN102164710A | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 平贺干敏;棚桥茂;羽鸟左一郎;松本尚 | 申请(专利权)人: | 新东工业株式会社 |
主分类号: | B24B29/00 | 分类号: | B24B29/00;B24B9/00;B24B29/06;B24B41/06;B24B47/22;B24B49/10;H01L21/304 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王轶;李伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法,该廉价的研磨装置具有除去由硬脆材料构成的多棱柱状部件表层部存在的微小裂纹的高研磨能力和除去表面凹凸而使表面粗糙度细微化的精细研磨能力,该研磨装置具有将被研磨加工物(W)载置成要研磨的加工面(P)呈水平向上状态的基台(4);夹持该被研磨加工物的两端面的夹紧机构(5);夹持上述研磨加工物进行研磨、在研磨结束后解除该夹持状态、通过手动反转或通过旋转机构(14A)、(14B)自动反转该被研磨加工物而使下一个加工面呈水平向上状态、对设有前端与该加工面旋转接触而进行研磨加工的研磨具(10)的研磨机构(2)进行移送的研磨单元(1);检测上述被研磨加工物的加工面的高度位置、自动设定上述研磨机构的研磨具对于加工面的切入量的高度位置检测装置(3)。 | ||
搜索关键词: | 棱柱 部件 研磨 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种多棱柱状部件的研磨装置,用于对被研磨加工物的形状为多棱柱状的各平面部及各棱角部进行研磨,其特征在于,具备:基台,该基台能够以使该被研磨加工物(W)的各平面部中的1个平面部或各棱角部中的1个棱角部的任一个作为要研磨的加工面而呈水平向上状态的方式载置该被研磨加工物;夹紧机构,该夹紧机构由前端安装有把持部、能够前后移动的夹紧轴构成,在对所述被研磨加工物进行研磨加工时,所述把持部夹持所述被研磨加工物的两个端面,在研磨结束后,所述把持部解除所述夹持状态;研磨单元,该研磨单元用于在对所述被研磨加工物进行研磨加工时移送研磨机构,所述研磨机构的研磨具的前端一边旋转接触所述加工面一边进行研磨加工;和高度位置检测装置,该高度位置检测装置在研磨加工前检测所述被研磨加工物的加工面的高度位置并将该高度位置检测信号存储到控制装置,所述控制装置根据所述高度位置检测信号对所述研磨机构的研磨具的前端的切入量进行运算处理后,进行研磨加工。
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