[发明专利]多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法有效

专利信息
申请号: 201080001511.5 申请日: 2010-07-12
公开(公告)号: CN102164710A 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 平贺干敏;棚桥茂;羽鸟左一郎;松本尚 申请(专利权)人: 新东工业株式会社
主分类号: B24B29/00 分类号: B24B29/00;B24B9/00;B24B29/06;B24B41/06;B24B47/22;B24B49/10;H01L21/304
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王轶;李伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 棱柱 部件 研磨 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种多棱柱状部件的研磨装置,用于对被研磨加工物的形状为多棱柱状的各平面部及各棱角部进行研磨,其特征在于,具备:

基台,该基台能够以使该被研磨加工物(W)的各平面部中的1个平面部或各棱角部中的1个棱角部的任一个作为要研磨的加工面而呈水平向上状态的方式载置该被研磨加工物;

夹紧机构,该夹紧机构由前端安装有把持部、能够前后移动的夹紧轴构成,在对所述被研磨加工物进行研磨加工时,所述把持部夹持所述被研磨加工物的两个端面,在研磨结束后,所述把持部解除所述夹持状态;

研磨单元,该研磨单元用于在对所述被研磨加工物进行研磨加工时移送研磨机构,所述研磨机构的研磨具的前端一边旋转接触所述加工面一边进行研磨加工;和

高度位置检测装置,该高度位置检测装置在研磨加工前检测所述被研磨加工物的加工面的高度位置并将该高度位置检测信号存储到控制装置,

所述控制装置根据所述高度位置检测信号对所述研磨机构的研磨具的前端的切入量进行运算处理后,进行研磨加工。

2.如权利要求1所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于,具备:

旋转机构,该旋转机构能够选择到间歇旋转或连续旋转的任一个使两个端面被所述把持部夹持的被研磨加工物以所述夹紧轴的轴心为中心进行旋转,所述间歇旋转是被设定预定的旋转角度并且以使被研磨加工物的加工面向上的方式进行旋转,所述连续旋转是被设定旋转速度并且进行旋转;和

升降装置,该升降装置用于使所述基台升降,

在进行研磨加工前,在所述控制装置中设定要研磨加工的被研磨加工物的多棱柱形状的角数、以及选择作为该被研磨加工物的所述棱角部的研磨加工条件亦即由所述旋转机构进行的间歇旋转或连续旋转的任一个。

3.如权利要求1所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

所述研磨机构是含有磨粒的毛状材料,且是将多根该毛状材料呈环状地植入设置在该研磨机构的底部的研磨刷。

4.如权利要求1或2所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

所述研磨机构是研磨刷,在该研磨刷中,将多根含有磨粒的毛状材料捆束后形成的多个研磨具的基部植入设置在转板上。

5.如权利要求1或2所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

所述研磨机构是研磨刷,在该研磨刷中,将多个含有磨粒且相互缠绕的纤维状弹性体植入设置在该研磨机构的底部。

6.如权利要求3至5中任一项所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

将多个所述研磨机构水平地连接。

7.如权利要求3至5中任一项所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

在所述多棱柱状部件的至少2个以上的不同面上配置所述研磨机构。

8.如权利要求3至5中任一项所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

在所述多棱柱状部件的至少2个以上的不同面上分别水平地配置多个所述研磨机构。

9.如权利要求6或8所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

混合在所述毛状材料中的磨粒的粒度为F180~#2000(JISR6001:1998),选择2种以上该粒度不同的研磨机构,且将该研磨机构连续设置,使该研磨机构能够按其粒度从“粗”到“细”的顺序进行研磨加工。

10.如权利要求6或8所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

混合在所述毛状材料中的磨粒的粒度为F180~#2000,选择该粒度大致相同的研磨机构,且连接该研磨机构。

11.如权利要求1至10中任一项所述的多棱柱状部件的研磨装置,其特征在于:

在用于在所述基台上载置被研磨加工物的承接部件上形成有V字形切口,且在该V字形切口上形成有L字形切口,

在对所述被研磨加工物的任一个棱角部进行研磨时,所述V字形切口与该棱角部下侧的平面部接触,从而将所述被研磨加工物载置成该一个棱角部呈水平向上的状态,

在对所述被研磨加工物的各平面部中的任一个平面部进行研磨时,所述L字形切口能够卡止该平面部下侧的棱角部,从而将所述被研磨加工物载置成该一个平面部呈向上的状态。

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