[实用新型]磁悬浮分子泵系统无效
| 申请号： | 201020696028.0 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202004696U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 张凯;张小章;李奇志;邹蒙;武涵 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁悬浮分子泵系统，包括磁悬浮分子泵，所述磁悬浮分子泵具有轴向磁轴承和径向磁轴承；第一电流检测装置，用于检测径向磁轴承静态电流；第二电流检测装置，用于检测径向磁轴承静态电流；位移检测装置，用于检测转子位移，和计算输出转子位移偏差以及转子位移偏差变化率信息；预设参数存储介质，用于存储模糊规则信息和相应的预设模糊控制数据；控制装置，用于根据径向磁轴承静态电流信息、轴向磁轴承静态电流信息、转子位移偏差信息和转子位移偏差变化率信息，结合所述预设参数存储介质中的所述模糊规则信息和相应的预设模糊控制数据进行模糊控制，输出控制信号实现所述磁悬浮分子泵在任意位置安装时均能稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 分子 系统 | ||
【主权项】：
一种磁悬浮分子泵系统，包括磁悬浮分子泵，所述磁悬浮分子泵具有轴向磁轴承和径向磁轴承；其特征在于：还包括第一电流检测装置，与所述磁悬浮分子泵电路连接，用于检测所述磁悬浮分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流；第二电流检测装置，与所述磁悬浮分子泵电路连接，用于检测所述磁悬浮分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流；位移检测装置，设于所述磁悬浮分子泵的转子处，用于在分子泵工作时检测的转子位移，和计算输出转子位移偏差和转子位移偏差变化率信息；预设参数存储介质，用于存储模糊规则信息和相应的预设模糊控制数据；控制装置，所述控制装置分别与所述磁悬浮分子泵、所述电流检测装置和所述位移检测装置连接，用于根据接收由所述电流检测装置传送来的径向磁轴承静态电流信息、所述轴向磁轴承静态电流信息，和由所述位移检测装置传送来的转子位移偏差信息和转子位移偏差变化率信息，结合所述预设参数存储介质中的所述模糊规则信息和相应的预设模糊控制数据进行模糊控制，输出控制信号给磁悬浮分子泵实现所述磁悬浮分子泵在任意位置安装时的稳定运行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司，未经清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020696028.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
