[实用新型]高压水喷淋装置有效
申请号: | 201020695507.0 | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN202105747U | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B05B9/04 | 分类号: | B05B9/04;B05B13/02;B05C13/02;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/50 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高压水喷淋装置,包括高压水喷嘴,其特征在于,在高压水喷射的方向上设置有滚轮,所述滚轮可转动地安装在支架上。本实用新型中的高压水喷淋设备,在高压水喷向引线框架时,可利用滚轮支撑住引线框架,可防止引线框架被高压水冲打而偏离运动轨迹。滚轮可转动地安装,可减小滚轮与摩擦力。通过传送引线框架的钢带驱动滚轮转动,可使滚轮转动与引线框架移动速度相适应,进一步减小了引线框架与滚轮之间的摩擦力,可避免滚轮损坏引线框架。采用弹簧定位第二滚转轮,既可以使第一转轮和第二转轮相配合使钢带按照预定轨迹运动,又不至于卡死。 | ||
搜索关键词: | 高压 喷淋 装置 | ||
【主权项】:
高压水喷淋装置,包括高压水喷嘴,其特征在于,在高压水喷射的方向上设置有滚轮,所述滚轮可转动地安装在支架上。
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