[实用新型]一种化学机械研磨测试设备有效
| 申请号： | 201020694354.8 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201960451U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵敬民;刘俊良;陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械研磨测试设备，用以测试不同研磨液对晶圆上材料层的研磨速率，包括基座，其上固定所述晶圆；分隔板，呈放射状，位于所述晶圆上方，将所述晶圆的表面分隔为若干相互独立的扇形区域；控制轴，固定于所述分隔板上方；若干研磨液供应管，含有不同的研磨液，分别位于所述若干扇形区域上方；研磨头，位于所述晶圆上方，所述研磨头下设置有研磨垫。综上所述，本实用新型所述化学机械研磨测试设备，能够在同一晶圆上、同时进行多种研磨液的研磨速率的测试，得到不同研磨液的研磨速率，代替现有技术中利用多个晶圆多次测试，测试结果准确，且大大降低了测试成本，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 测试 设备 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨测试设备，用以测试不同研磨液对晶圆的研磨速率，包括：基座，其上固定所述晶圆；其特征在于，还包括，分隔板，呈放射状，位于所述晶圆上方，将所述晶圆的表面分隔为若干相互独立的扇形区域；控制轴，固定于所述分隔板上方；若干研磨液供应管，分别含有不同的研磨液，分别位于不同的所述扇形区域上方；以及研磨头，位于所述晶圆上方，所述研磨头下设置有研磨垫。
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