[实用新型]一种硅块厚度测量装置有效
申请号: | 201020673732.4 | 申请日: | 2010-12-22 |
公开(公告)号: | CN201964876U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 杨建良 | 申请(专利权)人: | 无锡上机数控股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214128 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硅块厚度测量装置,其操作简便,测量精确度高,可作检验和测量之用,为下道工序提供方便,提高硅块切片成品率。其特征在于:包括底座、立柱、操纵箱、所述立柱安装于所述底座的一端,所述立柱上安装有激光测量头,所述操纵箱与所述激光测量头之间电控连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种硅块厚度测量装置,其特征在于:包括底座、立柱、操纵箱、所述立柱安装于所述底座的一端,所述立柱上安装有激光测量头,所述操纵箱与所述激光测量头之间电控连接。
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