[实用新型]真空镀膜的自转式工架机构无效
| 申请号： | 201020669507.3 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN201933148U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 许述芝;董永顺 | 申请（专利权）人： | 天津乾谕电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 杨红 |
| 地址： | 301721 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜的自转式工架机构，包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘，在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副，工架小齿轮与固定大齿轮啮合，工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架，所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接，所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接，其特征是：所述工架上设有工件自转机构。其特征是：所述工架的主轴键接有置于底盘上方的工件自转机构。有益效果：在真空镀膜的过程中，被镀工件在水平方向持续公转和自转，提高了薄膜质量的稳定性。合格率由30%提高到85%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 自转 工架 机构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜的自转式工架机构，包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘，在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副，工架小齿轮与固定大齿轮啮合，工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架，所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接，所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接，其特征是：所述工架上设有工件自转机构。
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