[实用新型]基板喷淋装置在审
| 申请号： | 201020636444.1 | 申请日： | 2010-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN201930863U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;范继良;刘惠森;余超平;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/20 | 分类号： | B05B1/20;B05B15/06;B08B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种基板喷淋装置，适用于对显示器中的基板进喷淋处理液，包括机架、直线驱动器、喷淋支架、水平输送装置及若干喷管，所述基板承载于所述水平输送装置上，所述水平输送装置带动所述基板在水平方向传输，所述喷淋支架活动连接于所述机架上并位于所述基板的上方，所述直线驱动器驱动所述喷淋支架在水平方向作直线往复运动，所述喷淋支架的运动方向垂直于所述基板的传输方向，所述喷管呈平行的安装于所述喷淋支架上，所述喷管开设有与处理液连通的处理液进入口，所述喷管朝向所述基板的一侧设有若干呈针孔状的喷嘴。本实用新型基板喷淋装置适用于对半导体基板进行清洗，结构简单，操控方便，喷淋均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
一种基板喷淋装置，适用于对显示器中的基板进喷淋处理液，其特征在于：包括机架、直线驱动器、喷淋支架、水平输送装置及若干喷管，所述基板承载于所述水平输送装置上，所述水平输送装置带动所述基板在水平方向传输，所述喷淋支架活动连接于所述机架上并位于所述基板的上方，所述直线驱动器驱动所述喷淋支架在水平方向作直线往复运动，所述喷淋支架的运动方向垂直于所述基板的传输方向，所述喷管呈平行的安装于所述喷淋支架上，所述喷管开设有与处理液连通的处理液进入口，所述喷管朝向所述基板的一侧设有若干呈针孔状的喷嘴。
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