[实用新型]基板喷淋装置在审
申请号: | 201020636444.1 | 申请日: | 2010-12-01 |
公开(公告)号: | CN201930863U | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 杨明生;范继良;刘惠森;余超平;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | B05B1/20 | 分类号: | B05B1/20;B05B15/06;B08B3/02;H01L21/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷淋 装置 | ||
1.一种基板喷淋装置,适用于对显示器中的基板进喷淋处理液,其特征在于:包括机架、直线驱动器、喷淋支架、水平输送装置及若干喷管,所述基板承载于所述水平输送装置上,所述水平输送装置带动所述基板在水平方向传输,所述喷淋支架活动连接于所述机架上并位于所述基板的上方,所述直线驱动器驱动所述喷淋支架在水平方向作直线往复运动,所述喷淋支架的运动方向垂直于所述基板的传输方向,所述喷管呈平行的安装于所述喷淋支架上,所述喷管开设有与处理液连通的处理液进入口,所述喷管朝向所述基板的一侧设有若干呈针孔状的喷嘴。
2.如权利要求1所述的基板喷淋装置,其特征在于:所述喷管均匀分布于所述喷淋支架上。
3.如权利要求1所述的基板喷淋装置,其特征在于:所述处理液进入口开设于所述喷管的中部且竖直向上。
4.如权利要求1所述的基板喷淋装置,其特征在于:所述喷嘴均匀分布于所述喷管上且竖直向下。
5.如权利要求1-4中任意一项所述的基板喷淋装置,其特征在于:所述喷淋支架包括喷管承载框、支撑轴及传动轴,所述喷管固定于所述喷管承载框上,所述传动轴呈水平设置且一端与所述喷管承载框固定连接,所述传动轴的另一端与所述直线驱动器连接,所述支撑轴呈水平设置且一端固定于所述机架上,所述支撑轴的另一端呈滑动的连接于所述机架上。
6.如权利要求1所述的基板喷淋装置,其特征在于:所述水平输送装置包括旋转马达及若干滚轮轴,所述滚轮轴上套接有滚轮,所述滚轮轴均匀地安装于所述 机架上且位于同一平面,所述旋转马达驱动所述滚轮轴转动,所述基板承载于所述滚轮上。
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