[实用新型]探针卡检测系统有效
申请号: | 201020636329.4 | 申请日: | 2010-11-26 |
公开(公告)号: | CN201897468U | 公开(公告)日: | 2011-07-13 |
发明(设计)人: | 郝亚慧 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/03 | 分类号: | G01B11/03;G01B11/30;G01R35/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 215123 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型有关于一种探针卡检测系统,包括一机台、一载放座、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺及一控制器。机台设置有一上方三轴位移机构,载放座架设于机台。数据库存有一数据文件,数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据。影像撷取装置与三轴光学尺固定于上方三轴位移机构,控制器电性连接于数据库、影像撷取装置及三轴光学尺。由此,可达到非接触量测探针卡的探针变形位移及平坦度的目的。 | ||
搜索关键词: | 探针 检测 系统 | ||
【主权项】:
一种探针卡检测系统,其特征在于,用于检测一探针卡的堪用度,该检测系统包括:一机台,设置有一上方三轴位移机构;一载放座,架设于该机台;一数据库,存有一数据文件,该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据;一影像撷取装置,固定于该上方三轴位移机构;一三轴光学尺,固定于该上方三轴位移机构;以及一控制器,电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺。
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