[实用新型]探针卡检测系统有效

专利信息
申请号: 201020636329.4 申请日: 2010-11-26
公开(公告)号: CN201897468U 公开(公告)日: 2011-07-13
发明(设计)人: 郝亚慧 申请(专利权)人: 京隆科技(苏州)有限公司
主分类号: G01B11/03 分类号: G01B11/03;G01B11/30;G01R35/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 梁爱荣
地址: 215123 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型有关于一种探针卡检测系统,包括一机台、一载放座、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺及一控制器。机台设置有一上方三轴位移机构,载放座架设于机台。数据库存有一数据文件,数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据。影像撷取装置与三轴光学尺固定于上方三轴位移机构,控制器电性连接于数据库、影像撷取装置及三轴光学尺。由此,可达到非接触量测探针卡的探针变形位移及平坦度的目的。
搜索关键词: 探针 检测 系统
【主权项】:
一种探针卡检测系统,其特征在于,用于检测一探针卡的堪用度,该检测系统包括:一机台,设置有一上方三轴位移机构;一载放座,架设于该机台;一数据库,存有一数据文件,该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据;一影像撷取装置,固定于该上方三轴位移机构;一三轴光学尺,固定于该上方三轴位移机构;以及一控制器,电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京隆科技(苏州)有限公司,未经京隆科技(苏州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201020636329.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top