[实用新型]一种用于等离子体发生器中的射频天线

摘要

一种用于等离子体发生器中的射频天线，设为中心区域和环绕中心区域设置的外侧区域；中心区域设置有第一线圈；外侧区域设置有第二线圈；一个驱动电路施加射频功率到第一和第二线圈并独立调节第一和第二线圈的输入射频功率，其中第二线圈包含多组在外侧区域均匀分布的并联线圈。结合了螺旋线和渐开线的两种线圈结构，通过调节可变电容，控制射频电源输入第一线圈和第二线圈的射频功率比，在中心区域和外侧区域获得密度不同的等离子体；兼具CCP和ICP的高电离率和均匀分布的等离子体发生效果，实现对晶圆的均匀快速处理。第一、第二线圈间，各条渐开线间相互并联，使施加到该射频天线的电压降低，配置射频驱动电路的要求也降低，节约了成本。

主权项

一种用于等离子体发生器中的射频天线，通过施加射频能量，在所述等离子体发生器的反应腔内，形成引入的反应气体的等离子体对晶圆进行处理，其特征在于，所述射频天线设为中心区域和环绕中心区域设置的外侧区域；所述中心区域设置有第一线圈（10）；所述外侧区域设置有第二线圈（20）；一个驱动电路施加射频功率到第一和第二线圈并独立调节第一和第二线圈的输入射频功率，其中第二线圈（20）包含多组在所述外侧区域均匀分布的并联线圈。