[实用新型]一种用于等离子体发生器中的射频天线

权利要求书

1.一种用于等离子体发生器中的射频天线，通过施加射频能量，在所述等离子体发生器的反应腔内，形成引入的反应气体的等离子体对晶圆进行处理，其特征在于，所述射频天线设为中心区域和环绕中心区域设置的外侧区域；所述中心区域设置有第一线圈（10）；所述外侧区域设置有第二线圈（20）；一个驱动电路施加射频功率到第一和第二线圈并独立调节第一和第二线圈的输入射频功率，其中第二线圈（20）包含多组在所述外侧区域均匀分布的并联线圈。

2.如权利要求1所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述中心区域的第一线圈（10）是螺旋线形。

3.如权利要求2所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述中心区域的第一线圈（10），其螺旋线形的中心端与射频电源相连接，另一端接地。

4.如权利要求1所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述外侧区域的第二线圈（20）包含一第一接触环（22）、直径大于该第一接触环（22）的第二接触环（23），以及均匀分布在所述第一接触环（22）和第二接触环（23）之间的若干渐开线（21）；所述若干渐开线（21）的一端均匀排列在一第一接触环（22）的圆周上，并与其电性连接；所述若干渐开线（21）的另一端均匀排列在第二接触环（23）的圆周上，并与其电性连接。

5.如权利要求4所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述若干渐开线（21）通过所述第一接触环（22）与射频电源连接，并通过所述第二接触环（23）接地，使该若干渐开线（21）相互并联。

6.如权利要求1所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述驱动电路包含一个可变阻抗电路，其与所述第一线圈（10）或第二线圈（20）之一串联；所述射频电源通过调节该可变阻抗电路的阻抗值，控制分配到所述第一线圈（10）和第二线圈（20）的射频功率比。

7.如权利要求6所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述可变阻抗电路包含可变电容或具有可变阻抗的电感电容组合电路。

8.如权利要求1所述用于等离子体发生器中的射频天线，其特征在于，所述第一线圈（10）及所述第二线圈（20）的每条并联线圈的宽度大于厚度。