[实用新型]石英摆片矩阵排列式化学腐蚀装置

摘要

本实用新型公开了一种石英摆片矩阵排列式化学腐蚀装置。装置本体上部设有风区和电气区，电气区侧设有折叠门，装置本体下部设有化学腐蚀槽槽体，化学腐蚀槽槽体内设有旋转主轴，旋转主轴通过轴承与化学腐蚀槽壳体底部相连，化学腐蚀槽壳体底部设有压缩空气系统管路，化学腐蚀槽壳体上端设有透明玻璃罩，旋转主轴下端与步进电机相连，旋转主轴上部设有架子，架子设有花篮，花篮底部设有夹具，夹具由压紧螺母、石英摆片、夹具体和二片保护膜组成，二片保护膜贴在石英摆片正反表面上，放入夹具体中。本实用新型使不同成份的酸液混合的完全均质化，分散效果好，可以解决同一批次产品在化学腐蚀生产中的由于腐蚀溶液混合不均造成的加工精度误差。

主权项

一种石英摆片矩阵排列式化学腐蚀装置，其特征在于包括抽风区(1)、电气区(2)、折叠门(3)、透明玻璃罩(4)、化学腐蚀槽壳体(5)、步进电机(6)、压缩空气系统管路(7)、轴承(8)、架子(9)、夹具(10)、旋转主轴(11)、花篮(12)、化学腐蚀槽槽体(13)、夹具盖(14)、石英摆片(15)、夹具座(16)、保护膜(17)；装置本体上部设有风区(1)和电气区(2)，电气区(2)侧设有折叠门(3)，装置本体下部设有化学腐蚀槽槽体(13)，化学腐蚀槽槽体(13)内设有旋转主轴(11)，旋转主轴(11)通过轴承(8)与化学腐蚀槽壳体(5)底部相连，化学腐蚀槽壳体(5)底部设有压缩空气系统管路(7)，化学腐蚀槽壳体(5)上端设有透明玻璃罩(4)，旋转主轴(11)下端与步进电机(6)相连，旋转主轴(11)上部设有架子(9)，架子(9)设有花篮(12)，花篮(12)底部设有夹具(10)，夹具(10)由压紧螺母(14)、石英摆片(15)、夹具体(16)和二片保护膜(17)组成，二片保护膜(17)贴在石英摆片(15)正反表面上，放入夹具体(16)中，用压紧螺母(14)压紧石英摆片(15)和二片保护膜(17)。