[实用新型]单晶硅线切割机构无效
| 申请号： | 201020525709.0 | 申请日： | 2010-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN201816149U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈荣兴 | 申请（专利权）人： | 江苏创大光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213127 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体加工设备，特别涉及一种进给量较为精确的单晶硅线线切割装置。包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。本实用新型有益效果在于提高了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费，减少了切割过程中硅棒的晃动，也保证了切割的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 切割 机构 | ||
【主权项】：
单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，其特征在于：所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏创大光伏科技有限公司，未经江苏创大光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020525709.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属磨料强化装置及其强化方法
- 下一篇：锁止式差速器的控制方法
