[实用新型]单晶硅线切割机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体加工设备，特别涉及一种进给量较为精确的单晶硅线线切割机构。 

背景技术

硅片是半导体和太阳能光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片加工技术，它不同于传统的刀具片、砂轮片等切割方式，也不同于更先进的激光切割和内圆切割方式，其原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割砂浆，对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。 

但目前的单晶硅的线切割机构的进给量不均匀，常会造成切割不均、废片比较多，同时也对钢丝的伤害较大，影响钢丝的实用寿命。 

发明内容

本实用新型设计了一种硅棒的进给量稳定的单晶硅切割机构，该机构的进给量稳定，避免了由于进给量不均匀造成的切割不均、废片比较多的问题。 

本实用新型通过以下技术方案实现： 

单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。 

所述的运动头的下方设置有固定夹紧装置，固定夹紧装置包括设置在运动 头下方的燕尾槽，燕尾槽内设置有粘结有硅棒的燕尾滑块，在运动头两边的侧面设置有对燕尾滑块进行锁紧的锁紧螺母，这里通过燕尾槽的连接方式，便于更换硅棒，同时设置了锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中的晃动，也保证了切割的质量。 

所述的喷砂装置包括设置箱体上的与砂箱连接的砂浆连接管，砂浆连接管上设置有多个出砂管。 

所述的出砂管的内部设置有砂道，砂道一侧的出砂管上设置有出砂缝，这样保证了一个出砂管上的砂浆能均匀的流出。 

本实用新型的优点在于： 

1、通过伺服电机和丝杠机构保证了硅棒的进给量的稳定，保证了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费。 

2、设置的锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中的晃动，也保证了切割的质量。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图， 

图2为出砂管的截面图， 

图中1为支架，2为伺服电机，3为电机板，4为丝杠，5为出砂管，6为导线轮，7为砂浆连接管，8为锁紧螺母，9为承载装置，10为燕尾槽，11为燕尾滑块，12为箱体，13为运动头，51为砂道，52为出砂缝。 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明： 

如图1和图2所示的单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体12，箱体12 的顶部设置有一对支架1，在一对支架1中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮6，导线轮6上设置有金属丝线，导线轮6下方设置有承载装置，位于导线轮6上方的箱体12上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机2、丝杠4以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机2固定连接在一对支架之间设置的电机板3上，伺服电机3的输出端与丝杠4连接，运动头连接在丝杠4上。 

所述的运动头13的下方设置有固定夹紧装置，固定夹紧装置包括设置在运动头下方的燕尾槽10，燕尾槽10内设置有粘结有硅棒的燕尾滑块11，在运动头两边的侧面设置有对燕尾滑块进行锁紧的锁紧螺母8，这里通过燕尾槽8的连接方式，便于更换硅棒，同时设置了锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中的晃动，也保证了切割的质量。 

所述的喷砂装置包括设置箱体12上的与砂箱连接的砂浆连接管7，砂浆连接管上设置有多个出砂管5，所述的出砂管5的内部设置有砂道51，砂道51一侧的出砂管上设置有出砂缝52，这样保证了一个出砂管上的砂浆能均匀的流出。 

本实用新型通过伺服电机和丝杠机构保证了硅棒的进给量的稳定，保证了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费，设置的锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中硅棒的晃动，也保证了切割的质量。