[实用新型]一种绝缘套管结构有效
| 申请号： | 201020514941.4 | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN201787252U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 柳小敏 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F16L41/08 | 分类号： | F16L41/08 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种绝缘套管结构，包括管体以及位于管体两端的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端通过支管连接洁净气体室，所述第二连接端连接远程等离子体源支持中心。所述第二连接端端面为正方形，其端面中间设置有密封环，用以防止气体泄漏。同时，第二连接端端面设置多个螺丝，端面各边的螺丝个数相等且均大于2个，螺丝等间隔分布，使连接面各边受力均匀，减小连接处的管道形变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘 套管 结构 | ||
【主权项】：
一种绝缘套管结构，包括管体以及位于所述管体两端的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端通过支管连接洁净气体室，所述第二连接端连接远程等离子体源支持中心，其特征在于，所述第二连接端端面为正方形，其端面中间设置有密封环用以防止气体泄漏。
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