[实用新型]一种绝缘套管结构有效
| 申请号： | 201020514941.4 | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN201787252U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 柳小敏 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F16L41/08 | 分类号： | F16L41/08 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘 套管 结构 | ||
1.一种绝缘套管结构，包括管体以及位于所述管体两端的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端通过支管连接洁净气体室，所述第二连接端连接远程等离子体源支持中心，其特征在于，所述第二连接端端面为正方形，其端面中间设置有密封环用以防止气体泄漏。
2.根据权利要求1所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述第二连接端通过若干螺丝连接远程等离子体源支持中心，所述螺丝均匀分布在第二连接端表面各边靠近边缘处。
3.根据权利要求2所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述螺丝距离所述第二连接端正方形端面边缘距离为3mm～10mm。
4.根据权利要求2所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述第二连接端正方形端面各边上的螺丝个数相等且均多于两个，所述螺丝在端面各边上等间隔分布。
5.根据权利要求4所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述第二连接端正方形端面共设有8个螺丝，所述端面每条边上等间隔分布3个螺丝。
6.根据权利要求1至5任一项所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述密封环内直径为25mm～35mm。
7.根据权利要求6所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述密封环为2个或2个以上，且同心环排列。
8.根据权利要求7所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述同心环排列的相邻两密封环间距为1mm～2mm。
9.根据权利要求7所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述绝缘套管为聚四氟乙烯绝缘套管。
10.根据权利要求7所述的绝缘套管结构，其特征在于，所述绝缘套管为陶瓷绝缘套管。
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