[实用新型]靶材结构及其溅镀设备有效
| 申请号： | 201020262992.2 | 申请日： | 2010-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN201834964U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陈维燕 | 申请（专利权）人： | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孙长龙 |
| 地址： | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种靶材结构及其溅镀设备。靶材结构包括一靶材主体。靶材主体具有彼此相对的一上表面与一下表面、多个连接上表面与下表面的侧表面以及至少一倾斜面。倾斜面连接上表面与至少一侧表面。倾斜面与上表面夹一特定角度。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 及其 设备 | ||
【主权项】：
一种靶材结构，其特征在于，包括：一靶材主体，具有彼此相对的一上表面与一下表面、多个侧表面连接该上表面与该下表面以及至少一倾斜面，其中该倾斜面连接该上表面与至少一该侧表面，且该倾斜面与该上表面夹一特定角度，该特定角度的范围介于1度至89度之间。
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